我們常說除靜電，防靜電但是可能(néng)大家一直沒(méi)有搞明白。除靜電它到底用有幾種(zhǒng)方法，在我們想要除靜電時，先要了解靜電産生原理，然後(hòu)選擇正确的除靜電方法，之後(hòu)在去選擇相對(duì)應的除靜電設備，來真正做到除靜電。下面(miàn)我們來說一下基本的幾種(zhǒng)除靜電方法：

(1) 工藝控制法

旨在使生産過(guò)程中盡量少産生靜電荷.爲此應從工藝流程、材料選擇、設備安裝和操作管理等方面(miàn)采取措施，控制靜電的産生和積聚，抑制靜電電位和靜電放電的能(néng)力，使之不超過(guò)危害的程度。

如在半導體制造過(guò)程中，當高速器件的淺結形成(chéng)工序完成(chéng)後(hòu)，對(duì)沖洗用的去離子水的電阻率就(jiù)必須控制。雖然電阻率越高，潔淨效果越好(hǎo)，但電阻率越高。絕緣性越越好(hǎo)，在芯片上産生的靜電就(jiù)越高。因此一般要控制在略高于8MΩ的水平，而不能(néng)是初始工序用的16－17MΩ。還(hái)有在材料選擇上，包裝材料要采用防靜電材料，盡量避免未經(jīng)處理的高分子材料。

(2) 洩漏法

旨在使靜電通過(guò)洩漏達到消除的目的。通常采用靜電接地是電荷向(xiàng)大地洩漏；也有采用增大物體電導的方法使接地沿物體表面(miàn)或通過(guò)内部洩漏，如添加靜電劑或增濕。最常見的是工作人員帶的防靜電腕帶，靜電接地柱。

(3) 靜電屏蔽法

根據靜電屏蔽的原理，可分爲内場屏蔽和外場屏蔽兩(liǎng)種(zhǒng)。具體措施是用接地的屏蔽罩把帶電體與其它物體隔離開(kāi)來，這(zhè)樣(yàng)帶電體的電場將(jiāng)不會(huì)影響周圍其它物體（内場屏蔽）；有時也用屏蔽罩八被(bèi)隔離的物體包圍起(qǐ)來，使其免受外界電場的影響（外場屏蔽）。如GaAs器件包裝多采用金屬盒或金屬膜。

(4) 複合中和法

旨在使靜電荷通過(guò)複合中和的辦法，達到消除的目的。通常利用接地消除器産生帶有異号電荷的離子與帶電體上的電荷複合，達到中和的目的。一般來說當帶電體是絕緣體時，由于電荷在絕緣體上不能(néng)流動，所以不能(néng)采用接地的辦法洩漏電荷，這(zhè)時就(jiù)必須采用靜電消除器産生異号離子去中和。如對(duì)生産線傳送帶上産生的靜電荷就(jiù)采用這(zhè)種(zhǒng)方法進(jìn)行消除。

(5) 整淨措施

旨在避免尖端放電的現象。爲此，應該盡可能(néng)使帶電體及周圍物體的表面(miàn)保持光滑和潔淨，以便減少尖端放電的可能(néng)性

上面(miàn)講到這(zhè)幾個基本除靜電方法，希望對(duì)大家有一定幫助。也希望大家能(néng)夠正确認識靜電，能(néng)有效去除靜電。